文部科学省の「次世代 X-nics 半導体創生拠点形成事業」の対象拠点として、東京工業大学、豊橋技術科学大学、及び広島大学が推進する「集積 Green-niX 研究・人材育成拠点」において、革新的半導体集積回路の統合的研究開発とそれを俯瞰的にマネージメントできる人材の育成に取り組んでいます。
本校では、豊橋技術科学大学とのネットワークを生かして、高専生のような高い技術的素養を持つ若者を次世代の半導体業界を担う人材として育成すべく、このたび9月5日から5日間にわたり「2022 年度集積 Green-niX 人材育成プログラム集積回路製作実習」を実施しました。初日には、拠点長である東京工業大学 若林整教授がお越しになりご挨拶ならびに実習の様子をご見学いただきました。
本校の高専本科生、専攻科生合わせて9名が、豊橋技術科学大学エレクトロニクス先端融合研究所附属ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(LSI工場)のクリーンルームに入り、一人一人がシリコンウェーハを用いて、高専では実際に行うことができない集積回路の製作を行いました。また、集積回路の製作に必要な設計技術の基礎として、SPICEを用いた回路シミュレーション、レイアウトの基礎講習、TCAD講習を実施し、集積回路技術全体を体験していただきました。参加した学生からは、「ICがつくられている様子が一つ一つ手順を知ることにより理解が深まった」、「少しずつ出来上がる集積回路は見ていて楽しかった」などの感想をいただきました。
拠点リーダの東京工業大学 若林先生から集積Green-niX研究・人材育成拠点の概要をお話しいただきました。
クリーンルームの実習風景
フォトリソ工程のパターン合わせ
SPICEによる回路シミュレーション実習
参加した高専本科生と専攻科生および
豊橋技術科学大学エレクトロニクス先端融合研究所教職員